XRF应用介绍-表面镀Ag 厚度分析

发表时间：2022-09-05

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作者：伦琴实验室

引言

镀 Ag 样品, 边长~15 mm. 用两种仪器, Omicron 和QuanX进行分析. Omicron 用于观测Ag 的分布, 而 QuanX 用于测定镀层厚度。

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步骤

仪器: QuanX EC.

Omicron 系统, 100 W Mo靶 X-射线管, 8滤光片, 分辨率优于175 eV的 Si(Li) LN检测器, 使用自动精密XYZ样品台.

激发条件:

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用了三种分析时间 5, 10 和 30 秒以研究对精度的影响.

定量分析: QuanX 操作软件采用基本参数法(FP)计算镀层厚度.

* 可以使用与分析样品的结构和成份不同的标样.

• 可以用纯元素为标样进行”半无标样”分析; 甚至在无纯元素时以相邻元素的标样为参考. 本实验中, 以

Micromatter Co.的薄膜Ag 标样进行校正.

结果

QuanX测定厚度

结果如下表1. 即使分析时间仅5”, 其精度也优于1% (rsd).

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Omicron 测定表面分布

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图 1. Zr, Ag 和 Sn 的300微米分辨率分布图

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图2. La, Au 和 Pb的300微米分辨率分布图

采集了Zr, Ag, Sn, La, Au, 和 Pb的元素分布图.

在 Ag 的分布图中可以明显地看出有缺陷处, 有些地方厚度不匀(红色至橙色).

结论

分析结果表明Thermo NORAN 的两种EDXRF 仪器可以成功地应用并具有不同的功能. QuanX能快速提供高精度的厚度结果. Omicron –可以高分辨率地观测到表面的缺陷(否则会被忽略) , 其定量分析速度和准确度与QuanX类似.

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